儀器設備
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PDC-MG 小型臺式等離子清洗機
技術參數
整機規格： 500×300×300（長×寬×高）mm
整機重量： 35 Kg
清洗艙規格： 165×210（Φ×L）mm（耐熱玻璃）
清洗艙有效容積： 4.5 L
輸入電源： 220 V／50 Hz
整機輸入功率： 400 W
射頻功率： 0～150 W（連續可調）
射頻頻率： 13.56 MHz
數字定時器：0～99.99 min
極限真空度： 60 Pa
二路浮子流量計： 0.2～1.5 L／min 量程
玻璃觀察窗：觀察清洗艙內輝光的狀態
常用工作氣體空氣、氬氣、氮氣或混合氣體等
